euv光源有专利吗？
来源：未知 作者：yyzntdcaiwu 发布时间： 阅读人数：259 手机端
是的，EUV光源相关的技术和设备可以获得专利保护。许多公司和研究机构在EUV光源技术领域进行创新研发，并申请专利来保护其发明和技术。
这些专利可以涵盖EUV光源的各个方面，包括光学设计、辐射源、激光产生和调节方案等。但具体的专利情况可能因为地区和时间的不同而有所差异，建议查询相应的专利数据库或咨询专利律师以获取最新信息。
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