光刻机的技术专利是谁的？

大多数是美国、荷兰、德国、日本等国的。

光刻机是种非常复杂的光电、机械、化学、物理等科学领域技术构成的大型设备，所以光刻机整体并没有专利技术，只要有能力就可以制造，但是涉及到其中的零件或零件组及一些制造应用技术就有专利权了。目前大多数专利在美国、荷兰、德国、日本、韩国等国手里，比如在EUV光刻技术专利最早优先权国家/地区的对比中，日本占比为45.5%，排第一位，美国占比为30.27%，排第二位，第三位为德国，占比13.5%。

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